白光干涉儀是一種新型的表面形貌測(cè)量方法，能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)樣品表面形貌的三維測(cè)量。它通過(guò)掃描定位被測(cè)樣品表面各點(diǎn)的干涉位置得到表面各點(diǎn)相對(duì)高度，重構(gòu)表面三維輪廓，實(shí)現(xiàn)對(duì)樣品表面三維形貌的測(cè)量。
白光干涉儀的三大性能特點(diǎn)
精度高、高重復(fù)性、高穩(wěn)定性
1）采用光學(xué)干涉技術(shù)、精密Z向掃描模塊組成測(cè)量系統(tǒng)，保證測(cè)量精度高；
2）精密的Z向掃描模塊和*的測(cè)量模式，保證測(cè)量重復(fù)性高；
3）高性能的內(nèi)部抗震設(shè)計(jì)，為測(cè)量高穩(wěn)定性保駕護(hù)航。
操作便捷的測(cè)量軟件
依托人性化設(shè)計(jì)的測(cè)量軟件，W11100光學(xué)3D表面輪廓儀的操作具備如下特點(diǎn)：
1）XYZ三軸均采用電動(dòng)控制，比手動(dòng)調(diào)節(jié)省時(shí)更省力；
2）可視化窗口，便于用戶實(shí)時(shí)觀察掃描過(guò)程；
3）掃描完成后，掃描模塊自動(dòng)跳轉(zhuǎn)初始位置，無(wú)須用戶重復(fù)操作；
4）Z向運(yùn)動(dòng)具備ZSTOP控制功能。
功能強(qiáng)大的XtremeVisionBasic版3D形貌分析軟件
XtremeVisionBasic版3D形貌分析軟件，在分析功能上具有如下特點(diǎn)：
1）強(qiáng)大的分析工具，不僅具備各種粗糙度參數(shù)分析功能，還具備強(qiáng)大的幾何輪廓分析功能；
2）一鍵分析，常用的分析流程可保存為方案，測(cè)同種樣品一鍵獲取分析結(jié)果，提高批量測(cè)量效率；
3）測(cè)量參數(shù)多，可測(cè)依據(jù)ISO/ASME/GBT等標(biāo)準(zhǔn)的近百余種2D、3D參數(shù)。
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